CV-3200/4500
l 藉由上下面连续测量机能，即可简易地测量上下面。
l 搭载测定力可变机能。
l 能同步进行校正作业的简便设计。
l 最高等级的指示精度。
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机械能力 |
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CV-3200S4 |
CV-3200H4 |
CV-3200W4 |
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CV-4500S4 |
CV-4500H4 |
CV-4500W4 |
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测定范围 |
X 轴 |
100mm |
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Z1 轴 ( 检出部 ) |
60mm（水平状态 ±30mm） |
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Z2 轴 ( 立柱 ) 移动范围 |
300mm |
500mm |
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检出器 (Z1 轴：检出部) |
测长装置 |
圆弧光学尺 |
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分辨率 |
CV-3200系列：0.04 µm、CV-4500系列：0.02 µm |
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测针上下作动 |
圆弧运动 |
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测定方向 |
拉、压两种方向 |
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测定面方向 |
CV-3200系列：上下两种方向 ( 单独测定）、CV-4500系列：上下两种方向 ( 可上下面连续测定） |
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测定力 |
CV-3200测定力系列：30mN（依重量调整）、CV-4500系列：10,20,30,40,50mN（用软件作切换） |
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测针追踪角度 |
上升 77°、下降 83°（使用标准附属品的片角测针时※1。依其表面性质而定。） |
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驱动部 |
测长装置 |
X 轴 |
Ｘ轴 分离式线性规 |
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Z2 轴(立柱) |
ABS 光学尺 |
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分辨率 |
X 轴 |
0.05 µm |
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Z2 轴(立柱) |
1µm |
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驱动速度 |
X 轴 |
0 ∼ 80mm/s 及手动操作 |
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Z2 轴(立柱) |
0 ∼ 30mm/s 及手动操作 |
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测定速度 |
X 轴 |
0.02 ∼ 5mm/s |
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真直度 ※2 |
X 轴 |
0.8 µm/100mm |
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倾斜角度 |
X 轴 |
±45° |
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指示精度 （ 20 ℃ ） |
CV-3200 系列 |
X 轴 |
±(0.8 ＋ 0.01L)µm L ＝驱动长度 (mm) 广范围：1.8 µm/100mm 狭范围：1.05 µm/ 25mm |
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Z1轴(检出部) |
±（1.6＋｜2H｜/100）µm H＝ 从水平位置测定的高度（mm） |
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CV-4500 系列 |
X 轴 |
±(0.8 ＋ 0.01L)µm L ＝驱动长度 (mm) 广范围：1.8 µm/100mm 狭范围：1.05 µm/ 25mm |
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Z1轴(检出部) |
±（0.8＋｜2H｜/100）µm H＝ Z1 轴（检出部）从水平位置测定的高度（mm） |
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机械能力 |
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CV-3200S8 |
CV-3200H8 |
CV-3200W8 |
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CV-4500S8 |
CV-4500H8 |
CV-4500W8 |
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测定范围 |
X 轴 |
200mm |
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Z1 轴 ( 检出部 ) |
60mm（水平状态 ±30mm） |
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Z2 轴 ( 立柱 ) 移动范围 |
300mm |
500mm |
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检出器 (Z1 轴：检出部) |
测长装置 |
圆弧光学尺 |
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分辨率 |
CV-3200系列：0.04 µm、CV-4500系列：0.02 µm |
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测针上下作动 |
圆弧运动 |
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测定方向 |
拉、压两种方向 |
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测定面方向 |
CV-3200系列：上下两种方向 ( 单独测定）、CV-4500系列：上下两种方向 ( 可上下面连续测定） |
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测定力 |
CV-3200测定力系列：30mN（依重量调整）、CV-4500系列：10,20,30,40,50mN（用软件作切换） |
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测针追踪角度 |
上升 77°、下降 83°（使用标准附属品的片角测针时※1。依其表面性质而定。） |
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驱动部 |
测长装置 |
X 轴 |
Ｘ轴 分离式线性规 |
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Z2 轴(立柱) |
ABS 光学尺 |
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分辨率 |
X 轴 |
0.05 µm |
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Z2 轴(立柱) |
1µm |
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驱动速度 |
X 轴 |
0 ∼ 80mm/s 及手动操作 |
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Z2 轴(立柱) |
0 ∼ 30mm/s 及手动操作 |
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测定速度 |
X 轴 |
0.02 ∼ 5mm/s |
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真直度 ※2 |
X 轴 |
2 µm/200mm |
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倾斜角度 |
X 轴 |
±45° |
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指示精度 （ 20 ℃ ） |
CV-3200 系列 |
X 轴 |
±(0.8 ＋ 0.02L)µm L ＝驱动长度 (mm) 广范围：4.8 µm/200mm 狭范围：1.3 µm/ 25mm |
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Z1轴(检出部) |
±（1.6＋｜2H｜/100）µm H＝ 从水平位置测定的高度（mm） |
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CV-4500 系列 |
X 轴 |
±(0.8 ＋ 0.02L)µm L ＝驱动长度 (mm) 广范围：4.8 µm/200mm 狭范围：1.3 µm/ 25mm |
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Z1轴(检出部) |
±（0.8＋｜2H｜/100）µm H＝ Z1 轴（检出部）从水平位置测定的高度（mm） |
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※1：SPH-71（No.354884）
※2：X轴水平姿势时
※3：本体的基本材质为花岗岩
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