SV-3200
l 提升使用方便性、更多功能！
l 结合新的选配组合：三次元表面粗度测定、简易水平驱动量测装置、各种检出器调整支撑架，可大幅缩短事前准备、测定时间，
进而实现更高的处理能力。
l 最高等级定位速度(X轴：最大80mm/sec，Z轴：最大30mm/sec) 的高精度、多功能、触针式表面粗度测定机。
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机械能力 |
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SV-3200S4 |
SV-3200H4 |
SV-3200W4 |
SV-3200L4 |
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测定范围 |
X轴 |
100mm |
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Z1轴 （检出部） |
800μm / 80μm / 8μm |
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Z2 轴 ( 立柱 ) 移动范围 |
300mm |
500mm |
700mm |
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X轴倾斜角度 |
±45（仅限X轴倾斜装置） |
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探测器探测方法 |
差动电感 |
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分辨率 |
X轴 |
0.05μm |
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Z1轴 （检出部） |
0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm |
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Z2轴（列） |
1μm (ABS规模） |
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駆动速度 |
X轴 |
0～80mm/s及手动操作 |
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Z2轴（列） |
0～30mm/s及手动操作 |
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真直精度 |
（0.05+0.001L）μm |
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测定力 |
依据编号(后缀-1：0.75mN、-2：4mN） |
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探针尖端 |
依據編號(後綴-1：60゜, R2μm、-2：90゜, R5μm） |
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底座尺寸（宽×深） |
600×450mm |
1000×450mm |
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材质 |
花岗岩 |
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机械能力 |
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SV-3200S8 |
SV-3200H8 |
SV-3200W8 |
SV-3200L8 |
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测定范围 |
X轴 |
200mm |
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Z1轴 （检出部） |
800μm / 80μm / 8μm |
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Z2 轴 ( 立柱 ) 移动范围 |
300mm |
500mm |
700mm |
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X轴倾斜角度 |
±45（仅限X轴倾斜装置） |
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探测器探测方法 |
差动电感 |
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分辨率 |
X轴 |
0.05μm |
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Z1轴 （检出部） |
0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm |
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Z2轴（列） |
1μm (ABS规模） |
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駆动速度 |
X轴 |
0～80mm/s及手动操作 |
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Z2轴（列） |
0～30mm/s及手动操作 |
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真直精度 |
（0.1+0.002L）μm |
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测定力 |
依据编号(后缀 -1：0.75mN、-2：4mN） |
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探针尖端 |
依據編號(後綴 -1：60゜, R2μm、-2：90゜, R5μm） |
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底座尺寸（宽×深） |
600×450mm |
1000×450mm |
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材质 |
花岗岩 |
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